یک فابریک نیمه هادی به یک بخاری غوطه ور PTFE سفارشی برای مخزن فرآیند نیمکتی مرطوب نیاز داشت. بخاری برای وظیفه حرارتی، شیمی و محدودیت فضا به درستی طراحی شده است. به مدت سه ماه با موفقیت نصب و راه اندازی شد. سپس بخش کیفیت fab اسنادی را برای ممیزی مشتری درخواست کرد. تامین‌کننده بخاری نمی‌تواند قابلیت ردیابی مواد، گواهی پایان سطح یا داده‌های قابل استخراج را ارائه دهد. بخاری از سرویس خارج شد تا زمانی که اسناد به دست آمد.
کارخانه های نیمه هادی مدارک و الزامات گواهینامه ای دارند که فراتر از مشخصات الکتریکی و حرارتی بخاری است. الزامات شامل خلوص مواد، پرداخت سطح، قابل استخراج، و قابلیت ردیابی است. یک بخاری غوطه ور PTFE سفارشی برای خدمات نیمه هادی باید این الزامات را برآورده کند و تامین کننده باید اسنادی را برای اثبات آن ارائه دهد.
قابلیت ردیابی و خلوص مواد
PTFE مورد استفاده در بخاری نیمه هادی باید تا لات رزین قابل ردیابی باشد. تأمین‌کننده باید گواهی تجزیه و تحلیل (CoA) برای پلیمر ارائه دهد که شماره لات، سازنده، و ویژگی‌های کلیدی{1}}وزن مولکولی، بلورینگی و سطوح ناخالصی را نشان دهد.
PTFE باید پلیمری بکر و پر نشده باشد. PTFE پر شده-حاوی شیشه، کربن یا سایر مواد افزودنی- قابل قبول نیست زیرا پرکننده ها می توانند به داخل حمام فرآیند نفوذ کنند. پلیمر باید الزامات خلوص فرآیند را برآورده کند، معمولاً با یون های قابل استخراج کمتر از حد مشخص شده.
| مستندات | آنچه را تایید می کند | نیاز معمولی |
|---|---|---|
| رزین CoA | قابلیت ردیابی، خواص | وزن مولکولی، سطوح ناخالصی |
| گواهی مواد | PTFE ویرجین، بدون پرکننده | 100٪ PTFE بکر |
| گزارش قابل استخراج | آلودگی یونی | <50 ppb per ion |
| گزارش پایان سطح | مقدار Ra | <0.4 μm Ra |
| بازرسی ابعادی | انطباق با تحمل | در هر نقاشی |
اسناد ردیابی و خلوص مواد برای بخاری های PTFE نیمه هادی
پایان و تمیزی سطح
فرآیندهای نیمه هادی به سطوح صاف و تمیزی نیاز دارند که ذرات را به دام نیندازند یا آلاینده ها را آزاد کنند. غلاف PTFE باید دارای سطح پرداخت 0.4 میکرومتر Ra یا بهتر باشد. سطح زبرتر می تواند ذرات را در خود جای دهد و تشکیل بیوفیلم را تقویت کند.
بخاری قبل از نصب باید تمیز و غیر فعال شود. فرآیند تمیز کردن بقایای تولید، روغن ها و ذرات را حذف می کند. فرآیند غیرفعال سازی تضمین می کند که سطح از نظر شیمیایی بی اثر است و آلاینده ها را در حمام فرآیند آزاد نمی کند.
یک گزارش پایان سطح و یک گواهی تمیز کردن، تمیزی بخاری را مستند می کند. گزارش باید شامل روش اندازه گیری، مکان های نمونه برداری و نتایج باشد.
تست قابل استخراج و قابل شستشو
آزمایش مواد استخراج‌پذیر رهاسازی یون‌ها، مواد آلی و ذرات را از بخاری به درون سیال فرآیند اندازه‌گیری می‌کند. این آزمایش شامل غوطه‌ور کردن بخاری در آب فوق‌العاده خالص یا یک سیال فرآیند نماینده در دمای عملیاتی برای یک دوره مشخص است، سپس سیال را برای آلاینده‌ها تجزیه و تحلیل می‌کند.
محدودیت های قابل استخراج به فرآیند بستگی دارد. برای فرآیندهای نیمه هادی بحرانی، محدودیت ها ممکن است در محدوده پایین -در-میلیارد برای فلزات و مواد آلی باشد. گزارش آزمایش نتایج را مستند می کند و تأیید می کند که بخاری الزامات فرآیند را برآورده می کند.
| تست کنید | آنچه را اندازه گیری می کند | حد معمولی | روش |
|---|---|---|---|
| قابل استخراج فلزات | آهن، مس، نیکل، کروم، روی | <50 ppb each | ICP{0}}MS |
| مواد قابل استخراج ارگانیک | TOC، ارگانیک خاص | <100 ppb TOC | HPLC، GC{0}}MS |
| انتشار ذرات | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | شمارنده ذرات مایع |
| مواد قابل استخراج آنیونی | Cl-، F-، SO42- | <50 ppb each | کروماتوگرافی یونی |
الزامات تست قابل استخراج برای بخاری های PTFE نیمه هادی
گواهینامه های برق و ایمنی
بخاری باید الزامات ایمنی الکتریکی فاب را برآورده کند. در آمریکای شمالی، این معمولاً به معنای فهرست UL یا ETL است. در اروپا، به معنای علامت گذاری CE با انطباق با دستورالعمل های قابل اجرا است.
محفظه ترمینال باید دارای رتبه حفاظتی مناسب برای ورود{0}}معمولاً IP66 یا NEMA 4X باشد. بخاری باید با سیستم حفاظت از خطای زمین فاب سازگار باشد.
| گواهینامه | منطقه | آنچه را پوشش می دهد | نیاز معمولی |
|---|---|---|---|
| UL 499 | آمریکای شمالی | ایمنی الکتریکی | فهرست شده یا شناخته شده است |
| CE | اروپا | ایمنی، EMC | علامت گذاری و اعلامیه |
| IP66 | بین المللی | حفاظت از ورود | محفظه ترمینال |
| ATEX | اروپا | ضد انفجار- | اگر جو قابل اشتعال باشد |
| SEMI S2 | نیمه هادی | دستورالعمل های ایمنی | نیاز فاب |
گواهینامه های الکتریکی و ایمنی برای بخاری های نیمه هادی PTFE
بسته ردیابی و مستندسازی
بسته مستندات یک بخاری نیمه هادی شامل گواهینامه های مواد، گزارش پایان سطح، گزارش تست قابل استخراج، گواهینامه های الکتریکی و گزارش بازرسی ابعادی است. بسته باید تا شماره سریال بخاری خاص قابل ردیابی باشد.
این بسته قبل از پذیرش بخاری توسط بخش کیفیت fab بررسی می شود. مستندات ناقص می تواند نصب را به تاخیر بیاندازد یا منجر به رد شود.
وقتی بخاری های استاندارد نمی توانند الزامات مستندات را برآورده کنند
بخاری های غوطه ور PTFE استاندارد با بسته مستندات مورد نیاز برای خدمات نیمه هادی عرضه نمی شوند. یک بخاری غوطه ور PTFE سفارشی که برای خدمات نیمه هادی طراحی شده است شامل مستندات، آزمایش و قابلیت ردیابی مورد نیاز است. فرآیند مشخصات به شیمی فرآیند، الزامات خلوص، مشخصات پرداخت سطح، محدودیت‌های قابل استخراج و گواهی‌های الکتریکی نیاز دارد.
